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深圳市中图仪器科技有限公司

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非接触3d光学轮廓仪
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产品: 非接触3d光学轮廓仪 
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有效期至: 长期有效
最后更新: 2023-06-01 15:31
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详细信息
非接触3d光学轮廓仪采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点的扩展型相移算法EPSI,单一模式即可适用于从平面到弧面、超光滑到粗糙等各种表面类型,其3D重建算法,自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合测量精度可达亚纳米级别,让3D测量变得简单。

 

产品功能

1)非接触3d光学轮廓仪设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能;

2)测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能;

3)测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能;

4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

 

中图仪器光学表面3D轮廓仪示例图1

 

技术参数

产品型号:SuperView W1系列

产品名称:光学3D表面轮廓仪

影像系统:1024×1024

光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)

干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)

XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈

Z轴行程:100mm,电动

Z向扫描范围:10mm

Z向分辨率:0.1nm

可测样品反射率:0.05%-100

水平调整:±5°手动

粗糙度RMS重复性:0.005nm

台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ

主要特点:非接触式无损检测,一键分析、测量速度快

生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司

注释:更多详细产品信息,请联系我们获取

 

产品特点

1、参数测量:粗糙度、围观轮廓尺寸、角度、面积、体积;

2、环境噪声检测:实时监测,纳米波动,也无可藏匿;

3、双重防撞保护:软件ZSTOP和Z向硬件传感器,让“以卵击石”也能安然无恙;

4、自动拼接:3轴光栅闭环反馈,让3D拼接“天衣无缝”;

5、双重振动隔离:气浮隔振,吸音隔振,任你“地动山摇,我自岿然不动”。

 

中图仪器光学表面3D轮廓仪示例图2

 

非接触3d光学轮廓仪让轮廓测量价格更为实惠,分辨率0.1μm,重复性0.1%,应用领域广泛,操作简便,可自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙间隙、弯曲变形情况、腐蚀情况、表面缺陷、台阶高度、波纹度、磨损情况、面形轮廓、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

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