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能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。
技术参数
产品型号：SuperView W1系列
产品名称：光学3D表面轮廓仪
影像系统：1024×1024
光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）
干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）
XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈
Z轴行程：100mm，电动
Z向扫描范围：10mm
Z向分辨率：0.1nm
水平调整：±5°手动
粗糙度RMS重复性：0.005nm
台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ
主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高
生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司
注释：更多详细产品信息，请联系我们获取
中图仪器非接触式白光干涉仪器设备粗糙度分析操作步骤：
1. 将样品放置在夹具上，确保样品状态稳定；
2. 将夹具放置在载物台上；
3. 检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态；
4. 使用操纵杆调节三轴位置，将样品移到镜头下方并找到样品表面干涉条纹；
5. 完成扫描设置和命名等操作；
6. 点击开始测量（进入3D视图窗口旋转调整观察一会）；
7. 进入数据处理界面，点击“去除外形”，采用默认参数，点击应用获取样品表面粗糙度轮廓；
8. 进入分析工具模块，点击参数分析，直接获取面粗糙度数据，点击右侧参数标准可更换参数标准，增删参数类型；
9. 如果想获取线粗糙度数据，则需提取剖面线；
10. 进入数据处理界面，点击“提取剖面”图标，选择合适方向剖面线进行剖面轮廓提取；
11. 进入分析工具界面，点击“参数分析”图标，点击右侧参数标准，勾选所需线粗糙度相关参数，即可获取线粗糙度Ra数据。
优点
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非接触高精密测量，不会划伤甚至破坏工件；
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测量速度快，不必像探头逐点进行测量；
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不必作探头半径补正，光点位置就是工件表面测量的位置；
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对高深宽比的沟槽结构，可以快速而准确的得到理想的测量结果。
随着白光干涉测量技术的发展和完善，3d光学轮廓仪已经得到了广泛的应用。在微电子、微机械、微光学等领域，中图仪器非接触式白光干涉仪器设备可以提供更高精度的检测需求。
