电阻率是决定半导体材料电学特性的重要参数,为了表征工艺质量以及材料的掺杂情况,需要测试材料的电阻率。半导体材料电阻率测试方法有很多种,其中四探针法具有设备简单、操作方便、测量精度高以及对样品形状无严格要求的特点。因此,目前检测半导体材料电阻率,尤其对于薄膜样品来说,四探针是较常用的方法。
普赛斯仪表S型源表能否直接进行四探针测试?对线缆要求?
①可以的,使用其四线测量模式;
②四探针测试时一般是恒流测电压,而所加的电流一般在mA级,所以对线缆基本没有要求
四探针测试原理
四探针技术要求使用四根探针等间距的接触到材料表面。在外边两根探针之间输出电流的同时,测试中间两根探针的电压差。最后,电阻率通过样品的几何参数,输出电流源和测到的电压值来计算得出。四探针法测量半导体电阻率测试方案,使用普赛斯仪表自主研发的高精度S型源表,既可以在输出电流时测试电压,也可以在输出电压时测试电流。输出电流范围从皮安级到安培级可控,测量电压分辨率高达微伏级。支持四线开尔文模式,因此适用于四探针测试,可以简化测试连接,得到准确的测试结果。
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普赛斯源表功能:精确提供四象限电压或电流,并同步测量电流和电压;可以实现电源、万用表、电子负载、电源/测量组合功能;
用途:精确提供和测量电压和/或电流,广泛应用于各种电器特性参数测试中,如IV扫描;
普赛斯源表优势:四象限工作,源和负载;电压及电流范围广,电流100pA~1A,电压0.3mV~300V,准确度为0.1%;5寸触摸显示屏图形化操作,内置强大的功能软件,加速用户完成测试;支持多种通讯方式,RS-232、GPIB及以太网;
额外功能(软件实现的):二极管IV扫描及参数分析、三极管IV扫描及参数分析、LIV测试系统、太阳能电池放电测试系统、电池充放电循环系统等;
普赛斯源表应用领域:分立半导体器件特性测试,电阻、二极管、发光二极管、齐纳二极管、PIN二极管、BJT三极管、MOSFET、SIC等;能量与效率特性测试,LED/AMOLED、太阳能电池、电池、DC-DC转换器等;传感器特性测试,电阻率、霍尔效应等;有机材料特性测试,电子墨水、印刷电子技术等;纳米材料特性测试,石墨烯、纳米线等;
普赛斯源表应用方案:二极管IV测试、激光二极管LIV测试、三极管MOS管IV测试、APD管IV测试、太阳能电池板特性参数测试、电池充放电特性参数测试、电化学循环伏安测试;
普赛斯源表替代方案:吉时利2400/2450、是德B2901
普赛斯数字源表应用优势:
1、多功能测量需求下的广泛的适应性,电压高300V,电流低至100pA;
2、实现“源”的输出和“表”的测量同步进行,提高测试效率。
3、具备对测试器件的保护功能,可进行自我限制,避免因过充而造成的对测试器件的损害;精确的电压电流限制功能,为器件提供完善的保护功能,避免器件损坏。
4、触屏图形化操作,使用简单。开放式平台,可根据实际应用的需求而针对性的开发软件。
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